等离子清洗机等离子激发频率40KHz,具有双路气体精准控制,316不锈钢真空腔体,40KHz微米级蚀刻,物理撞击作用z强(也叫等离子体刻蚀机),配备国内z好真空泵,真空度高,低噪音,扩散在空气中油气少,避免实验室噪音和油气污染,适用于陶瓷、金属、玻璃、硅片等材料清洗。
不锈钢腔体设计,等离子激发频率40KHz
通入气体和泄压是独立通道互不干扰,自动泄压比手动泄压更方便
等离子清洗机
316不锈钢腔体,腔体内温度小于50°C@180秒
3016不锈钢腔体
40KHz等离子体物理性z强
等离子体从上向下发出,碰撞样品表面更激烈
细节把控,给用户更好体验
国产真空泵
圆形高硼硅托盘
配备的真空泵噪音和油气污染小,真空度高
真空泵与主机联动,可在触摸屏上控制真空泵开启/关闭
1.5米不锈钢波纹管,比橡胶管更耐用,密封性更好
1.5米不锈钢波纹管
标配清洗托盘,方便使用
KF25卡扣
安捷伦Agilent 干泵(选配),避免油气污染
OF-20油污过滤器(选配),避免排气口油气对实验室环境的污染
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北京等离子清洗机