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真空等离子清洗机，等离子激发频率40KHz，具有双路气体精准控制，316不锈钢真空腔体，40KHz微米级蚀刻，物理撞击作用z强（也叫等离子体刻蚀机），配备国内z好真空泵，真空度高，低噪音，扩散在空气中油气少，避免实验室噪音和油气污染，适用于陶瓷、金属、玻璃、硅片等材料清洗。
Better Reliability，Better Operation
英文简易操作
功率调节
内置两路气路，气体流量可调，无需再搭配气体混合仪
专利软件、操作简易，智能化设计，避免误操作
采用数字显示压力，实时观察腔体压力变化情况
中英文操作系统，触摸屏控制，人机界面友好
电流实时监测，确保仪器稳定安全运行
中文简易操作
VP-S5触摸屏控制
清洗时长可在触摸屏设置，等离子处理时间精确到秒（s）
PLASMA处理结束后，自动泄压，泄压时长和大小可调，可通入氮气泄压
清洗功率连续可调
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真空等离子清洗机